硅片分选机:硅片尺寸&厚度测量
硅片分选机:硅片尺寸&厚度测量
硅片分选机在半导体制造中是关键设备,其主要任务是高效、精确地分类和分选硅片。
机器视觉在硅片分选机中是关键特征,尺寸和厚度是制造工艺的重要参数,直接影响电气性能。控制硅片的尺寸和厚度有助于减少废品率,通过在分选过程中检测测量,及早发现不合格的硅片并排除,提高生产效率,降低制造成本。
机器视觉系统利用摄像头、传感器和图像处理软件,模拟人眼视觉能力,对硅片进行全面、高精度的检测和分析。制造商可确保产品符合标准和规范,维持一致的生产质量。
在检测硅片的长宽尺寸时,采用2D检测技术;而在检测硅片厚度时,使用3D检测技术。这些技术的结合使硅片分选机更为全面和精准。且结合视觉检测技术,可满足速度1000mm/s-1200mm/s,产能每小时10000片的生产需求。
长/宽检测 推荐相机参数
Camera specification
相机型号: 小驰龙PCP系列 PCP-2621M/C.U3
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分辨率(H×V):5120×5120
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帧率:15.1 fps
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传感器:1.1" GMAX0505 帧曝光 CMOS
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像元尺寸:2.5μm×2.5μm
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像元深度:8/12bits
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光谱:黑白 / 彩色
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像素精度:0.051mm/pix
产品图
成像展示
Imaging results
2D检测长/宽尺寸
・在小驰龙的检测下,提高生产效率、降低废品率,并确保产品质量达到规定标准。
软件界面
・背光照明,0.33s完成一次检测
厚度检测 推荐相机参数
Camera specification
相机型号: 镰刀龙系列 TZS-1050
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安装净距离(CD):17.7mm
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近端FOV:13.3mm
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远端FOV:16.2mm
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景深(MR):6.9mm
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物理轮廓点数:1920
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X 方向分辨率:7.0 ~ 8.6 μm
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Z 方向重复精度:0.2 μm
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扫描速度(点云轮廓/ 秒):2500~56000
产品图
工位布局
成像展示
Imaging results
3D深度图检测厚度
软件界面