硅片分选机:硅片尺寸&厚度测量

 

 

 

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硅片分选机:硅片尺寸&厚度测量

硅片分选机在半导体制造中是关键设备,其主要任务是高效、精确地分类和分选硅片。

机器视觉在硅片分选机中是关键特征,尺寸和厚度是制造工艺的重要参数,直接影响电气性能。控制硅片的尺寸和厚度有助于减少废品率,通过在分选过程中检测测量,及早发现不合格的硅片并排除,提高生产效率,降低制造成本。

 

机器视觉系统利用摄像头、传感器和图像处理软件,模拟人眼视觉能力,对硅片进行全面、高精度的检测和分析。制造商可确保产品符合标准和规范,维持一致的生产质量。

在检测硅片的长宽尺寸时,采用2D检测技术;而在检测硅片厚度时,使用3D检测技术。这些技术的结合使硅片分选机更为全面和精准。且结合视觉检测技术,可满足速度1000mm/s-1200mm/s,产能每小时10000片的生产需求。

 

长/宽检测 推荐相机参数

 

 Camera specification 

 

相机型号: 小驰龙PCP系列 PCP-2621M/C.U3

  • 分辨率(H×V):5120×5120

  • 帧率:15.1 fps

  • 传感器:1.1" GMAX0505 帧曝光 CMOS

  • 像元尺寸:2.5μm×2.5μm

  • 像元深度:8/12bits

  • 光谱:黑白 / 彩色

  • 像素精度:0.051mm/pix

产品图

 

 

 

 

 

成像展示

 

 Imaging results

 

 

2D检测长/宽尺寸

 

・在小驰龙的检测下,提高生产效率、降低废品率,并确保产品质量达到规定标准。

 

 

软件界面

・背光照明,0.33s完成一次检测

 
 
 
 
 
 
 

厚度检测 推荐相机参数

 

 Camera specification 

 

相机型号: 镰刀龙系列 TZS-1050

  • 安装净距离(CD):17.7mm

  • 近端FOV:13.3mm

  • 远端FOV:16.2mm

  • 景深(MR):6.9mm

  • 物理轮廓点数:1920

  • X 方向分辨率:7.0 ~ 8.6 μm

  • Z 方向重复精度:0.2 μm

  • 扫描速度(点云轮廓/ 秒):2500~56000

产品图

 

 

 

工位布局

 

 

 

成像展示

 

 Imaging results

 

 

3D深度图检测厚度

 

 

 

软件界面